文献

J-GLOBAL ID：201202248105046013   整理番号：12A1067370

メタンプラズマ中で作製された球形カーボン粒子の微細構造分析

Fine structure analysis of spherical carbon particles produced in a methane plasma

著者 (6件)： ONOUE M. (Kyushu Inst. of Technol., 1-1, Sensui, Tobata, Kitakyushu 804-8550, JPN) ,  OKADO H. (Kyushu Inst. of Technol., 1-1, Sensui, Tobata, Kitakyushu 804-8550, JPN) ,  IKARI T. (Ube National Coll. of Technol., Ube, Yamaguchi 755-8555, JPN) ,  NAITOH M. (Kyushu Inst. of Technol., 1-1, Sensui, Tobata, Kitakyushu 804-8550, JPN) ,  NAGAI T. (KKU Res. Center, Kyushu Kyoritsu Univ., Yahatanishi, Kitakyushu 807-8585, JPN) ,  SHOJI F. (KKU Res. Center, Kyushu Kyoritsu Univ., Yahatanishi, Kitakyushu 807-8585, JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 27-28  ページ： 10-13  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 我々は,走査電子顕微鏡(SEM)および透過電子顕微鏡(TEM)により,円柱状CH₄/H₂低圧プラズマ中でミクロンサイズに成長した球状カーボン粒子の構造と成長機構を調べた。SEM観察から,我々は球状カーボン粒子が基板上ではなくシース中に形成さている事実を見出した。TEM観察から,球状カーボン粒子は2から10nmまでの範囲のグラファイトオニオンと約5nmのダイアモンドが同時に成長していることを明らかにした。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *炭素材 ,  *ミクロスフェア ,  プラズマ化学反応 ,  微粒子 ,  反応機構 ,  グラファイト ,  ダイヤモンド ,  ナノ粒子 ,  アルカン

分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (7件)： メタン ,  プラズマ ,  作製 ,  球形 ,  カーボン粒子 ,  微細構造 ,  分析