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J-GLOBAL ID：201202248358277046   整理番号：12A0746473

同時スパッタリングプロセスにより蒸着させたチタン酸亜鉛薄膜のナノインデンテーション応答

Nanoindentation response of zinc titanate thin films deposited by co-sputtering process

著者 (7件)： WU Shyh-chi (Dep. of Mechanical Engineering, National Chiao Tung Univ., Hsinchu 300, Taiwan, TWN) ,  WU Shyh-chi (Chung Shan Inst. of Sci. and Technol. (CSIST), Taoyuan 325, Taiwan, TWN) ,  JENG Yeau-ren (Dep. of Mechanical Engineering, National Chung Cheng Univ., Chia-Yi 621, Taiwan) ,  YAU Wei-hung (Dep. of Mechanical Engineering, Chin-Yi Univ. of Technol., Taichung 400, Taiwan, TWN) ,  WU Kuan-te (Dep. of Mechanical Engineering, National Chung Cheng Univ., Chia-Yi 621, Taiwan) ,  TSAI Chien-huang (Dep. of Automation Engineering, Nan Kai Univ. of Technol., Nantou 54243, Taiwan, TWN) ,  CHOU Chang-pin (Dep. of Mechanical Engineering, National Chiao Tung Univ., Hsinchu 300, Taiwan, TWN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 258  号： 18  ページ： 6730-6734  発行年： 2012年07月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報では,ZnTiO₃膜を,焼結セラミックターゲットを用いた高周波マグネトロン同時スパッタリングによりシリコン基板上に成長させ,520ないし820°Cの温度範囲における熱処理後の膜の硬度(H)および弾性率(E)をCSMモード下のナノナノインデンテーション技術を用いて評価した。ZnTiO₃膜の硬度および弾性率の測定値は,8.5±0.4から5.6±0.4GPa,および171±2.3から155±2.5GPaの範囲にそれぞれあった。高温熱処理による粗さの増加が原子間力顕微鏡で明白になった。蒸着直後の膜は主に非晶質だが,XRDパターンは,620から820°Cで(104),(110),(116)および(214)ピークをもつ六方晶のZuTiO₃相の形成を示し,シリコン基板上では高度に(104)配向ZnTiO₃が存在することを明らかにした。X線光電子分光によるO1s内殻準位解析からは,熱処理温度が高いほど,結合は弱くなり,抵抗が低くなるという測定結果を得た。H,M,R_msおよびR_aは結晶粒粗大化により改変され,緩和された結晶性が生じた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *チタン酸塩 ,  *亜鉛化合物 ,  *スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  RFスパッタリング ,  *セラミック被覆 ,  ウエハ【IC】 ,  *ナノインデンテーション ,  *熱処理 ,  *微小硬さ ,  *弾性係数 ,  六方晶系 ,  X線回折 ,  優先配向 ,  結晶粒粗大化 ,  表面粗さ ,  X線光電子スペクトル
準シソーラス用語： Si基板 ,  *チタン酸亜鉛

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K)

タイトルに関連する用語 (7件)： 同時スパッタリング ,  プロセス ,  蒸着 ,  チタン酸亜鉛 ,  薄膜 ,  ナノインデンテーション ,  応答