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J-GLOBAL ID：201202249112286832   整理番号：12A0835078

炭素質材料の合成のためのメタン/水素プラズマ中のCHの分光学的視覚化と表面の微細構造

Spectroscopic visualization of CH in methane/hydrogen plasmas for synthesis of carbonaceous materials and surface micromorphology

著者 (4件)： SHEN Qingchun (Dep. of Applied Chemistry, Graduate School of Engineering, Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  MIYATA Yasushi (Nagoya Municipal Industrial Res. Inst., 3-4-41, Rokuban, Atsuta-ku, Nagoya 456-0058, JPN) ,  MORITA Shigeaki (EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN) ,  KITAGAWA Kuniyuki (EcoTopia Sci. Inst., Nagoya Univ., Furo-cho, Chikusa-ku, Nagoya 464-8603, JPN)
資料名： Microchemical Journal  (Microchemical Journal)
巻： 104  ページ： 38-43  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： D0072A  ISSN： 0026-265X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマ増強化学蒸着(PECVD)は,先端材料の合成のための有望な製造過程の1つである。種々のミクロ構造を有するsp²の炭素膜は,電池電極用に魅力的であり,様々なメタン+水素プラズマから合成されている。本研究では,プラズマと基板標的表面間の相互作用を明らかにするために,中間体種CHの視覚化を試みた。蒸着過程の反応機構を解明するために,プラズマからの自発的光学発光の可視スペクトルをマルチチャネル分光計によって記録した。メタン-希薄プラズマからの分光学的全発光強度は,メタンに富むプラズマよりも非常に大きかった。しかし,メタンに富むプラズマ中のCHラジカルの発光強度は,メタン-希薄プラズマ中のそれよりもわずかに高かった。また,このプラズマから生じたCHラジカルの2次元分光画像を430nmでのバンドパスフィルタを備えたCCDカメラを利用して得た。負のバイアス電圧が,蒸着膜中の乱層構造に関与することが見出された。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *炭素材 ,  *プラズマ ,  可視化 ,  微細構造 ,  プラズマCVD ,  反応機構 ,  蒸着膜 ,  発光スペクトル ,  アルカン
準シソーラス用語： *水素プラズマ

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (2件)： メタン ,  メチンラジカル

タイトルに関連する用語 (7件)： 炭素質材料 ,  メタン ,  水素プラズマ ,  CH ,  分光学 ,  視覚化 ,  微細構造