Tohoku Univ., Sendai, JPN について
NEMOTO Takenao について
Tokyo Electron Ltd. Dev. Inst. Inc., Sendai, JPN について
TOMITA Yugo について
Tohoku Univ., Sendai, JPN について
TERAMOTO Akinobu について
Tohoku Univ., Sendai, JPN について
KURODA Rihito について
Tohoku Univ., Sendai, JPN について
KUROKI Shin-Ichiro について
Tohoku Univ., Sendai, JPN について
KAWASE Kazumasa について
Mitsubishi Electric Corp., Amagasaki, JPN について
SUGAWA Shigetoshi について
Tohoku Univ., Sendai, JPN について
OHMI Tadahiro について
Tohoku Univ., Sendai, JPN について
IEEE Transactions on Electron Devices について
半導体プロセス について
誘電体 について
プラズマCVD について
プラズマ処理 について
脂肪族フッ素化合物 について
漏れ電流 について
配線 について
Cu配線 について
ダマシン配線 について
フルオロカーボン について
マイクロ波プラズマCVD について
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プラズマ支援CVD について
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フルオロカーボン について
誘電体 について
Cu について