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J-GLOBAL ID：201202250606066310   整理番号：12A1111985

零ばね定数を有する非接触懸架に基づく微細加工加速度計に対する提案

Proposal for Micromachined Accelerometer, Based on a Contactless Suspension With Zero Spring Constant

著者 (3件)： POLETKIN Kirill V. (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  CHERNOMORSKY Alexsandr I. (State Technical Univ., Moscow, RUS) ,  SHEARWOOD Christopher (Nanyang Technological Univ., Singapore)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 12  号： 7-8  ページ： 2407-2413  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ばね定数が零の非接触懸架-利用微細加工加速度計を開発した。この加速度計は機械的及び磁気-電気懸架によって懸架できるプルーフマスから成る。今回は,同心円板から成る上面電極,同心電極と外側コイルから成る底面電極,及び上面電極と底面電極に非接触に挟まれた円形プルーフ電極を用いて電気機械加速度計を構成した。等価回路を構築し,Lagrange-Maxwell方程式を用いて動作を数値解析した。このセンサは分解能を顕著に改善できた。

シソーラス用語： *加速度計 ,  微細加工 ,  懸垂 ,  慣性質量 ,  素子構造 ,  電気機械 ,  等価回路 ,  Lagrange方程式 ,  Maxwell方程式 ,  数値解析 ,  ばね定数 ,  高分解能
準シソーラス用語： 非接触

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： ばね定数 ,  非接触 ,  懸架 ,  微細加工 ,  加速度計 ,  提案