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J-GLOBAL ID：201202250687912059   整理番号：12A1436926

環境セル電子顕微鏡におけるSiN/C隔膜の開発

著者 (6件)： CUI Zipeng (Nagoya Univ.) ,  今枝紀裕 (Nagoya Univ.) ,  川崎忠寛 (Nagoya Univ.) ,  丹司敬義 (Nagoya Univ. EcoTopia Sci. Inst.) ,  山崎佳代 (Kinki Univ.) ,  松谷貴臣 (Kinki Univ.)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 73rd  ページ： ROMBUNNO.14A-C3-2  発行年： 2012年08月27日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 環境 ,  *試料セル ,  *透過型電子顕微鏡 ,  窒化ケイ素 ,  炭素 ,  隔膜 ,  開発 ,  薄膜成長 ,  中間体 ,  層 ,  基板 ,  加熱

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (6件)： 環境 ,  セル ,  電子顕微鏡 ,  SiN ,  隔膜 ,  開発