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J-GLOBAL ID:201202250997179831   整理番号:12A0868858

薄膜中の貫通転位の断面把握

Capture cross-section of threading dislocations in thin films
著者 (2件):
資料名:
巻: 551  ページ: 67-72  発行年: 2012年08月15日 
JST資料番号: D0589B  ISSN: 0921-5093  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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薄膜内で直交する滑り面上を移動する反対バーガースベクトルを持つ2つの貫通転位消滅の断面把握を,数値モデルを用いて検討した。消滅に至る貫通転位の初期配置構造を,適用された膜応力の範囲で緻密に地図化した。任意の応力および厚みで消滅する初期配置構造の領域を,断面把握した。断面把握サイズは,薄膜厚みにより加わる転位移動の臨界応力と比べて,負荷応力の大きさの影響を受けて非常に敏感に変化した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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