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J-GLOBAL ID：201202251288170088   整理番号：12A1486716

ナノピペットを用いた静電インクジェットパターニングによるマスクリペア法の開発

著者 (3件)： 宇井洋之 (静岡大) ,  東條徹 (デザインテック) ,  岩田太 (静岡大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.J75  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： FPD等のフォトマスクにおいて,サブミクロンサイズの欠陥を既存技術よりも低コストで修正が可能な代替手法が求められている。本研究では,金属微粒子を含むインクを充填したナノピペット(先端開口径サブマイクロメートルのキャピラリーガラス管)を用いた静電インクジェットによるサブミクロンサイズの堆積加工法を開発した。基板とピペット先端間の距離等の条件を最適化し,再現性の高い連続堆積を行う手法について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *回路パターン形成 ,  インクジェット印刷 ,  ノズル ,  静電印刷 ,  *フォトマスク ,  修正
準シソーラス用語： マイクロノズル

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： ナノピペット ,  パターニング ,  マスク ,  リペア ,  開発