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J-GLOBAL ID：201202251747836400   整理番号：12A1650148

リフトオフとアライメント露光プロセスを使用した準楕円体マイクロレンズ製作法

Semiellipsoid microlens fabrication method using the lift-off and alignment exposure processes

著者 (4件)： HUNG Chien-Hsin (National Chung Hsing Univ., Taichung, TWN) ,  HUNG Shih-Yu (Nan Kai Univ. Technol., Nantou, TWN) ,  SHEN Ming-Ho (Nan Kai Univ. Technol., Nantou, TWN) ,  YANG Hsiharng (National Chung Hsing Univ., Taichung, TWN)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 10  ページ： 105020,1-10  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロレンズを使ってレーザダイオードからシングルモードファイバ(SMF)により効果的な光結合を得ることができる。本稿では,リフトオフとアライメント露光プロセスを使用した準楕円体マイクロレンズ製作法について報告した。まずリフトオフ法により楕円形状のベースを作る。次のフォトレジスト熱リフローにより高さが大きく曲率半径の小さい準楕円体マイクロレンズフォトレジストパターンを作る。楕円体フォトレジストコラムの高さを推定する楕円体近似法を作成した。誤差は±3%に制御した。電鋳技術を使ってフォトレジストパターンをPDMS用の金型に変換した。この方法は高歩留りで高結合の準楕円形マイクロレンズを量産するのを容易にする。

シソーラス用語： *マイクロレンズ ,  微細加工 ,  パターン形成 ,  アラインメント ,  露光 ,  *楕円体 ,  半導体レーザ ,  単一モードファイバ ,  結合 ,  光ファイバ ,  半径 ,  電鋳 ,  ポリジメチルシロキサン ,  金型 ,  熱処理 ,  *フォトレジスト
準シソーラス用語： PDMS【重合体】 ,  リフトオフ法 ,  レーザダイオード ,  曲率半径 ,  光結合 ,  露光後ベーク

分類 (1件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (6件)： リフトオフ ,  アライメント ,  露光プロセス ,  楕円体 ,  マイクロレンズ ,  製作法