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J-GLOBAL ID：201202252307973053   整理番号：12A1486514

ナノパルス援用熱フィラメントCVD法による合成ダイヤモンド膜の特性評価

著者 (4件)： 前田英俊 (東京工大 大学院) ,  浅野禎介 (東京工大 大学院) ,  望月佳彦 (東京工大 大学院) ,  大竹尚登 (東京工大 大学院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.E03  発行年： 2012年09月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンドは機械的特性を有しており,その特性を生かして切削工具等へのコーティングが試みられている。しかし,合成時の基板温度が約800°Cと高いことや,均一に成膜するのが難しいことが問題となっている。これらの問題を解決するため本研究では,従来の熱フィラメントCVD法にナノパルスを援用し,ダイヤモンド膜の低温合成を試みるとともに,フィラメント配置によるダイヤモンドの特性を評価する。(著者抄録)

シソーラス用語： 薄膜 ,  化学蒸着 ,  切削工具 ,  *キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： *ダイヤモンド膜 ,  *熱フィラメントCVD

分類 (1件)： 気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (5件)： パルス ,  援用 ,  熱フィラメントCVD ,  ダイヤモンド膜 ,  特性評価