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J-GLOBAL ID：201202256949284117   整理番号：12A1436890

ばね定数・共振周波数の大きなSiカンチレバーを用いた小振幅FM-AFM

著者 (5件)： 有馬英司 (大阪大 大学院) ,  土師将裕 (大阪大 大学院) ,  内藤賀公 (大阪大 大学院) ,  LI Yan Jun (大阪大 大学院) ,  菅原康弘 (大阪大 大学院)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 73rd  ページ： ROMBUNNO.12A-E2-3  発行年： 2012年08月27日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *原子間力顕微鏡 ,  ばね定数 ,  共振周波数 ,  *片持梁 ,  *ケイ素
準シソーラス用語： *周波数変調AFM ,  *カンチレバー ,  *シリコン

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

タイトルに関連する用語 (6件)： ばね定数 ,  共振周波数 ,  Si ,  カンチレバー ,  振幅 ,  FM-AFM