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J-GLOBAL ID：201202258256056628   整理番号：12A0773020

70nsのスイッチング速度を有するナノギャップのMEMSマイクロリレー

NANOGAP MEMS MICRO-RELAY WITH 70ns SWITCHING SPEED

著者 (6件)： VERGER A. (Univ. Limoges, FRA) ,  POTHIER A. (Univ. Limoges, FRA) ,  GUINES C. (Univ. Limoges, FRA) ,  BLONDY P. (Univ. Limoges, FRA) ,  VENDIER O. (Thales Alenia Space, FRA) ,  COURTADE F. (CNES, FRA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 25th Vol.2  ページ： 717-720  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では高速スイッチングが可能な静電動作のRF-MEMSリレー(オーミック接触)を提示する。アルミナ/アルミニウム/アルミナ(100nm/200nm/100nm)の複数積層体に電極等をパターニングした小型の梁でリレーを作製した。これは高い接触インピーダンスを実現し,65Vの印加電圧で70nsの高速のスイッチング速度を持つ。それにもかかわらず,このリレーには消失すべき強い衝撃速度と運動エネルギーを原因とするいくつかの接点跳動があり,安定するまでにさらに300nsの時間を必要とする。この整定時間を最小化するにはさらなる検討が必要である。しかし,高速でスイッチングできる能力のため,提案のリレーを超低消費電力の電気機械コンピューティングあるいは,過酷環境エレクトロニクスのような2~3のアプリケーションに応用できる可能性がある。

シソーラス用語： *マイクロスイッチ ,  アクチュエータ ,  Ohm接触 ,  梁 ,  運動エネルギー ,  消費電力 ,  *MEMS
準シソーラス用語： オーミック接触 ,  スイッチング速度 ,  *ナノギャップ ,  マイクロリレー ,  衝撃速度 ,  整定時間 ,  *静電アクチュエータ ,  超低消費電力

分類 (3件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K) ,  梁,桁  (HD03020H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： スイッチング速度 ,  ナノギャップ ,  MEMS ,  マイクロリレー