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J-GLOBAL ID：201202258744249770   整理番号：12A0773131

超軟弱エラストマー膜と銅-パーマロイ電着構造をベースにした静磁気マイクロアクチュエータ

MAGNETOSTATIC MICRO-ACTUATOR BASED ON ULTRASOFT ELASTOMERIC MEMBRANE AND COPPER-PERMALLOY ELECTRODEPOSITED STRUCTURES

著者 (6件)： STREQUE J. (PRES Univ. Lille North of France, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  TALBI A. (PRES Univ. Lille North of France, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  BONNEROT C. (PRES Univ. Lille North of France, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  PERNOD P. (PRES Univ. Lille North of France, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  PREOBRAZHENSKY V. (PRES Univ. Lille North of France, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  PREOBRAZHENSKY V. (A.M. Prokhorov General Physics Inst., Russian Acad. Sci., RUS)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 25th Vol.2  ページ： 1157-1160  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 設計A,Bと2種類の提案をしたが何れもが,液体や柔らかい媒質のトランスジューサとして使える強い力,大きな変位のマイクロアクチュエータとして充分なものである。これらの革新的な3Dパーマロイ回路は,既存及び集積したコイルの両方に対して強い力の発生を可能とした。強磁性体回路は設計Aのアクチュエータの効率を改良した。コイル巻線の外側への電気めっきをベースにしてこの集積は容易である。全磁気回路で作動力を倍にして,18mN又は100mWの電力消費である。設計Bのマイクロコイル素子を銅とパーマロイの電着によって構成した。特性は電着銅の伝導度に依存する比率で理論的な結果と良く一致した。これらのアクチュエータはパルス的な作動にも適応した。エラストマー膜は強い変形でも破損しなかった。

シソーラス用語： ゴム ,  *パーマロイ ,  電着 ,  *銅 ,  相互作用 ,  *マイクロアクチュエータ ,  強磁性体
準シソーラス用語： *エラストマ ,  *静磁気相互作用

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (6件)： エラストマー膜 ,  銅 ,  パーマロイ ,  電着 ,  磁気 ,  マイクロアクチュエータ