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J-GLOBAL ID：201202258829429327   整理番号：12A1212299

半導体ウエハサイズ転換におけるAMHS技術選択のための意思決定過程における重要な変数:探索研究

Critical Variables in the Decision-Making Process for AMHS Technology Selection in Semiconductor Wafer Size Transitions: Exploratory Study

著者 (3件)： TEMPONI Cecilia (Texas State Univ., TX, USA) ,  JIMENEZ Jesus A. (Texas State Univ., TX, USA) ,  MENDEZ MEDIAVILLA Francis A. (Texas State Univ., TX, USA)
資料名： IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻： 25  号： 3  ページ： 408-419  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： T0521A  ISSN： 0894-6507  CODEN： ITSMED  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 次世代半導体ウエハサイズは大型開発投資,転換投資を必要とする450mmが計画されている。450mmウエハファブにおいては,自動搬送システム(AMHS)は高度な混合生産と高速サイクルタイム,高速出荷スピード,有効な保管容量を可能にするように改良が必要である。また,これらの装置は大型化するが設置面積を少なくする考慮が必要である。本稿では,ウエハサイズ転換に関連した戦略的計画過程で考慮すべきAMHSの重要な変数についての意思決定モデルと関連した仮説を述べた。幾つかの仮定について関連産業界の調査データに基づいて解析した。関連する文献を紹介した。最後に,経営者がウエハサイズ転換に際して行う戦略的計画過程で参考にすべき推奨事項を示した。

シソーラス用語： *ウエハ【IC】 ,  大口径 ,  システム ,  生産ライン ,  運搬 ,  *意思決定 ,  設備投資 ,  時間 ,  収納部分 ,  改変
準シソーラス用語： AMHS ,  サイクルタイム ,  *自動搬送システム ,  大型化 ,  保管スペース

分類 (2件)： 経営工学一般  (KA01010C) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (7件)： 半導体ウエハ ,  サイズ ,  転換 ,  意思決定過程 ,  変数 ,  探索 ,  研究