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J-GLOBAL ID：201202258946498011   整理番号：12A1098737

高度に集積可能なシリコン熱気体流量センサ

A highly integratable silicon thermal gas flow sensor

著者 (4件)： PALMER Kristoffer (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  KRATZ Henrik (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  NGUYEN Hugo (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  THORNELL Greger (Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 6  ページ： 065015,1-15  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しいシリコンに基づくMEMS熱気体流量センサについて報告した。スパッタ蒸着アルミニウム層を融着する表面の保護用に使用した。また,透明膜上でリフトオフによる薄膜パターン形成を行った。熱量モードによる測定ではセンサ信号は供給された電力にほぼ比例し,検出範囲は検出素子のヒータとの相対位置に依存した。最大熱量流量範囲は約300sccmで,最大感度は29μV sccm^-1であった。飛行時間モードの測定では,検出流量範囲は約2倍熱量モードより大きかった。高感度化と測定範囲を広くするには,パルスを可能な限り短くし,エネルギーは高くする必要がある。このセンサの応答時間はミリ秒領域である。

シソーラス用語： センサ ,  流量 ,  *MEMS ,  スパッタ蒸着 ,  接合 ,  微細加工 ,  パターン形成 ,  依存性 ,  位置 ,  熱量 ,  *飛行時間法 ,  応答時間 ,  ケイ素 ,  感度
準シソーラス用語： シリコン ,  リフトオフ法 ,  位置依存性 ,  融着 ,  融着結合 ,  *流体流量センサ

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 集積 ,  シリコン ,  熱気体 ,  流量センサ