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J-GLOBAL ID：201202258973347580   整理番号：12A0363913

RE-Si-Al-Oガラスのプラズマエッチング挙動に及ぼす希土類元素の影響

Effect of rare-earth elements on the plasma etching behavior of the RE-Si-Al-O glasses

著者 (4件)： LEE Jungki ,  KIM Dongsun ,  LEE Sungmin ,  KIM Hyungsun
資料名： Journal of Non-Crystalline Solids  (Journal of Non-Crystalline Solids)
巻： 358  号： 5  ページ： 898-902  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： D0642A  ISSN： 0022-3093  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体工業におけるプラズマプロセスチャンバの窓ガラスを開発するため,酸化物ガラスのプラズマエッチング挙動に及ぼす希土類元素の影響を研究した。種々の希土類元素(Y,Gd及びLa)含有のアルミノケイ酸ガラスを作製し,そしてそれらの光学的透過性及びプラズマエッチング深さを評価した。ガラス表面をフッ素プラズマに曝したときの,ガラスのプラズマエッチング挙動をX線光電子分光分析により見積もった。ガラス中の希土類元素は種々の特性;密度,分子容,力学的性質及びプラズマエッチング深さなどに大いに関係する。希土類元素の陽イオン性の電場強度は,ガラスのプラズマエッチング深さにフッ素化合物の昇華点より強く影響し,そしてこれがプラズマエッチング条件と関係するだろう。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： イットリウム ,  ガドリニウム ,  ランタン ,  *アルミノケイ酸ガラス ,  *希土類元素 ,  *プラズマエッチング ,  プラズマ ,  深さ ,  性質 ,  X線光電子分光法
準シソーラス用語： エッチング深さ ,  フッ素プラズマ ,  光学的透過性

分類 (3件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  ガラスの性質・分析・試験  (YC02030Z)

タイトルに関連する用語 (4件)： ガラス ,  プラズマエッチング ,  挙動 ,  希土類元素