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J-GLOBAL ID:201202259524162114   整理番号:12A0582066

CoFeB/MgO/CoFeB磁気トンネル接合部のMgO障壁における電子構造へのアニールの間の拡散Bの効果

Effect of Diffused B During Annealing on the Electronic Structure of the MgO Barrier in CoFeB/MgO/CoFeB Magnetic Tunnel Junctions
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資料名:
巻:号:ページ: 033001.1-033001.3  発行年: 2012年03月25日 
JST資料番号: F0599C  ISSN: 1882-0778  CODEN: APEPC4  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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CoFeB/MgO/CoFeB磁気トンネル接合部のMgO層におけるホウ素の化学状態と電子構造をシンクロトロン放射X線光電子分光法と第一原理計算によって研究した。トップCoFeBで,酸化,中間,金属ホウ素に対応する3つのホウ素1sピークを観察した。アニール薄膜をエッチングするとB2O3は,Mg 2p ピーク と共に現れ始め,MgO障壁にホウ素原子拡散を示唆した。計算は,MgO障壁でのB不純物が中間ギャップ状態をつくらないが,ホウ素濃度の増加でMgO障壁高さを減らすことを示した。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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絶縁体結晶の電子構造 

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