KAROUTA Fouad について
Australian National Univ., ACT, AUS について
VORA Kaushal について
Australian National Univ., ACT, AUS について
TIAN Jie について
Australian National Univ., ACT, AUS について
JAGADISH Chennupati について
Australian National Univ., ACT, AUS について
Journal of Physics. D. Applied Physics について
プラズマCVD について
窒化ケイ素 について
化合物半導体 について
半導体薄膜 について
基板 について
ケイ素 について
ウエハ【IC】 について
プロセスパラメータ について
酸化物 について
窒化物 について
ケイ素化合物 について
屈折率 について
膜厚 について
残留応力 について
化学組成 について
微細構造 について
赤外吸収スペクトル について
二次イオン質量分析 について
オキシ窒化物 について
FTIRスペクトル について
その他の無機化合物の薄膜 について
PECVD について
窒化シリコン について
組成 について
光学特性 について