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文献
J-GLOBAL ID:201202260806896917   整理番号:12A1771489

オフ角制御高圧高温合成IIa型基板上へのCVD単結晶ダイヤモンドの合成と評価 3~CH4濃度・RF出力の電荷キャリア輸送特性への影響~

著者 (9件):
資料名:
巻: 26th  ページ: 28-29  発行年: 2012年11月16日 
JST資料番号: L1241A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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その他の無機化合物の結晶成長 
物質索引 (1件):
物質索引
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