MARTINEZ E. について
CEA-LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble cedex 09, FRA について
GAUMER C. について
ST Microelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38926 Crolles, FRA について
LHOSTIS S. について
ST Microelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38926 Crolles, FRA について
LICITRA C. について
CEA-LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble cedex 09, FRA について
SILLY M. について
Synchrotron SOLEIL, L’Orme des Merisiers, 91191 Gif-sur-Yvette, FRA について
SIROTTI F. について
Synchrotron SOLEIL, L’Orme des Merisiers, 91191 Gif-sur-Yvette, FRA について
RENAULT O. について
CEA-LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble cedex 09, FRA について
Applied Surface Science について
チタン化合物 について
窒化物 について
酸化ハフニウム について
窒素 について
ドーピング について
二酸化ケイ素 について
ケイ素 について
焼なまし について
軟X線 について
X線光電子スペクトル について
真空紫外線 について
偏光解析法 について
誘電体 について
不純物拡散 について
不動態化 について
MOCVD について
MOS構造 について
内殻準位 について
ゲートスタック について
窒化チタン について
高k誘電体 について
酸化物薄膜 について
固体中の拡散一般 について
電子分光スペクトル について
TiN について
HFO について
ゲートスタック について
窒素 について
拡散 について
軟X線 について
光電子分光 について
研究 について