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J-GLOBAL ID：201202261807436401   整理番号：12A1504456

非結晶相中でエッチしたPt/PbTiO₃/Pb(Zr,Ti)O₃/PbTiO₃/Pt集積キャパシタの漏れ電流

Leakage Current of Pt/PbTiO₃/PbZr_0.3Ti_0.7O₃/PbTiO₃/Pt Integrated Capacitors Etched in Non-Crystalline Phase

著者 (1件)： TANG Sanyuan (Northeastern Univ., MA, USA)
資料名： Ferroelectrics. Letters Section  (Ferroelectrics. Letters Section)
巻： 39  号： 1-3  ページ： 25-30  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： H0934A  ISSN： 0731-5171  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *強誘電体 ,  *チタン酸鉛 ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  サンドイッチ構造 ,  *誘電体薄膜 ,  白金電極 ,  *MIM構造 ,  誘電分極 ,  ヒステリシス ,  電流電圧特性 ,  *漏れ電流 ,  電圧依存性 ,  Ohm接触 ,  空間電荷制限電流 ,  ホッピング伝導

分類 (3件)： 強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B) ,  金属-絶縁体-金属構造  (BM03087F) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (10件)： 結晶相 ,  エッチ ,  Pt ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  集積 ,  キャパシタ ,  漏れ電流