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J-GLOBAL ID：201202261891559041   整理番号：12A1727356

局所酸化ナノリソグラフィーにおけるナノ規模空間電荷の検出と安定性

Detection and stability of nanoscale space charges in local oxidation nanolithography

著者 (3件)： BAUMGAERTEL T (Chemnitz Univ. Technol., Chemnitz, DEU) ,  BORCZYSKOWSKI C v (Chemnitz Univ. Technol., Chemnitz, DEU) ,  GRAAF H (Univ. Kassel, Kassel, DEU)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 9  ページ： 095707,1-7  発行年： 2012年03月09日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡探針先端で誘起したアルキル終端珪素の局所アノード酸化により生じた酸化珪素ナノパターン中の空間電荷を測定した。構造の表面電位をKelvinプローブ力顕微鏡観察と吸着した電位感受性色素分子の分光により調べた。空間電荷は少なくとも数日間減衰しなかった。電荷有感色素ジ-4-ANEPPSの蛍光スペクトルは非帯電酸化珪素表面に比べて270meV偏移した。電荷の高い安定性は,カチオン種の選択的不動態化のテンプレートとしての局所アノード酸化パターンの利用を支援する。

シソーラス用語： *空間電荷 ,  *リソグラフィー ,  表面電位 ,  色素 ,  蛍光スペクトル ,  酸化ケイ素 ,  *アノード酸化 ,  検出
準シソーラス用語： *ナノリソグラフィー ,  局所酸化 ,  電位感受性色素 ,  電荷検出

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： 局所酸化 ,  ナノリソグラフィー ,  規模 ,  空間電荷 ,  安定性