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J-GLOBAL ID：201202262128642481   整理番号：12A1439716

MEMS:超低温ボロメータの製作

MEMS: Fabrication of cryogenic bolometers

著者 (7件)： KUNERT J. (Inst. Photonic Technol., Jena, DEU) ,  ANDERS S. (Inst. Photonic Technol., Jena, DEU) ,  MAY T. (Inst. Photonic Technol., Jena, DEU) ,  ZAKOSARENKO V. (Inst. Photonic Technol., Jena, DEU) ,  ZIEGER G. (Inst. Photonic Technol., Jena, DEU) ,  KREYSA E. (Max Planck Inst. Radioastronomy, Bonn, DEU) ,  MEYER H.-G. (Inst. Photonic Technol., Jena, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8352  ページ： 83520F.1-83520F.6  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超低温ボロメータは,サブミリメータレンジの電磁放射を検知する最も感度の高いデバイスである。このような放射は天体観測やセキュリティチェックで関心が持たれている。このようなボロメータの製作法を記す。感度を高めるためにサーミスタ(検知デバイス)と温度浴間の熱リンクを弱めることが必要である。このことは,それらをサーミスタが数本の梁で支えられるようにした窒化シリコン膜上に置くことで達成される。製作プロセスには特別なリソグラフィ技術を必要としないが,歩留まり100%達成には特別な配慮が必要である。ボロメータの基本と応用に対する要求,製作の課題を検討し,電波望遠鏡とセキュリティカメラ用に製作した完全システムの結果を示した。

シソーラス用語： *MEMS ,  マイクロマシニング ,  *ボロメータ ,  *超低温 ,  電磁波 ,  電磁波放射 ,  天体観測 ,  サーミスタ ,  電波望遠鏡 ,  テラヘルツ波
準シソーラス用語： 電磁放射

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  超低温 ,  ボロメータ ,  製作