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J-GLOBAL ID：201202262984840618   整理番号：12A0960641

シリコンのフッ化水素酸,硝酸,および酢酸エッチングにより形成された半球キャビティを採用したエレクトロウェッティングレンズ

Electrowetting Lens Employing Hemispherical Cavity Formed by Hydrofluoric Acid, Nitric Acid, and Acetic Acid Etching of Silicon

著者 (5件)： LEE June Kyoo (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  CHOI Ju Chan (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  JANG Won Ick (Electronics and Telecommunications Res. Inst., Daejeon, KOR) ,  KIM Hak-Rin (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR) ,  KONG Seong Ho (Kyungpook National Univ., Daegu, KOR)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 51  号： 6,Issue 2  ページ： 06FL05.1-06FL05.7  発行年： 2012年06月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： われわれはこの研究で,高アスペクト比の半球レンズキャビティとマイクロ電気機械システム(MEMS)製造プロセスを採用したエレクトロウエッティングレンズの設計を示す。 われわれの予備的なシミュレーション結果ではレンズの物理的および電気的耐久性が半球状のキャビティにおける絶縁体上のストレスの軽減によって改善できることを示した。 さまざまな直径と非常に滑らかな側壁面を備えた高アスペクト比の半球状の空洞をシリコンウェハ上に洗練された等方性ウェットエッチング技術により均一に作製した。 さらに,われわれは提案されたキャビティを有するMEMSベースのエレクトロウエッティングレンズの光学特性を実験的に調べた。 提案されたレンズキャビティ内の2つの非混和性液体は,無視できる光学歪みと,完全に軸対称の形状とキャビティの滑らかな側壁による低い焦点距離ヒステリシスをもつて静電的に制御された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *MEMS ,  *レンズ ,  計算機シミュレーション ,  *エッチング ,  ケイ素 ,  フッ化水素 ,  硝酸 ,  アスペクト比 ,  *空洞 ,  *半球 ,  脂肪酸 ,  薬物
準シソーラス用語： エレクトロウエッティングレンズ ,  高アスペクト比 ,  半球レンズ ,  半球キャビティ

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

物質索引 (1件)： 酢酸

引用文献 (30件)：

• 1) B. H. W. Hendriks, S. Kuiper, M. A. J. van As, C. A. Renders, and T. W. Tukker: Opt. Rev. 12 (2005) 255.
• 2) B. Berge and J. Peseux: Eur. Phys. J. E 3 (2000) 159.
• 3) J. K. Lee, K. -W. Park, H. -R. Kim, and S. H. Kong: J. Inf. Disp. 11 (2010) 84.
• 4) H. Oku and M. Ishikawa: Appl. Phys. Lett. 94 (2009) 221108.
• 5) P. Fei, Z. He, C. Zheng, T. Chen, Y. Men, and Y. Huang: Lab Chip 11 (2011) 2835.

タイトルに関連する用語 (8件)： シリコン ,  フッ化水素酸 ,  硝酸 ,  酢酸 ,  エッチング ,  半球 ,  キャビティ ,  採用