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J-GLOBAL ID：201202263650702121   整理番号：12A1499481

陰極アーク蒸着によるCr-Al-O-N薄膜の構造特性および機械的特性

Structural and mechanical properties of Cr-Al-O-N thin films grown by cathodic arc deposition

著者 (6件)： KHATIBI A. (Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., 581 83 Linkoeping, SWE) ,  SJOELEN J. (SECO Tools AB, 737 82 Fagersta, SWE) ,  GRECZYNSKI G. (Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., 581 83 Linkoeping, SWE) ,  JENSEN J. (Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., 581 83 Linkoeping, SWE) ,  EKLUND P. (Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., 581 83 Linkoeping, SWE) ,  HULTMAN L. (Thin Film Physics Div., Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Linkoeping Univ., 581 83 Linkoeping, SWE)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 60  号： 19  ページ： 6494-6507  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (Cr_xAl_1-x)_δ(O_1-yN_y)_ξ,ここで0.33≦x≦0.96,0≦y≦1および0.63≦δ/ξ≦1.30の被覆を,50V負にバイアスされたWC-10wt.%Co基板上で,三つの異なるCr/Al組成比を持つ異なるCrおよびAl合金から,N₂/O₂反応ガス混合物中で陰極アーク蒸着によって蒸着した。全ガスのN₂<63%に対して,弾性反跳検出分析によって決定されたように,<1at.%のNを含む三元(Cr,Al)₂O₃膜が生成する。N₂分率を75%以上に増加させると,四元の酸窒化物膜の生成がもたらされる。X線回折,透過電子顕微鏡法およびX線光電子分光による膜の相分析は,立方晶Cr-Al-Nおよび立方晶-(Cr,Al)₂O₃固溶体および二次六方晶α-(Cr,Al)₂O₃固溶体が優先することを示している。CrおよびAl含有量が高いと,高い粗さの膜が生じ,一方NおよびO含有量が高いと,滑らかな表面が生じる。ナノ押込硬さ測定は,Alリッチ酸化物膜または窒化物膜は24~28GPaの硬度値を持つことを示した。それに反して,酸窒化物膜はCrおよびAl含有量に拘わらず,約30GPaの硬度を持つ。金属切断性能試験は,良い摩耗特性は立方晶分率またはコランダム分率に拘わらず,主に酸素リッチ被覆に関係があることを示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 物理蒸着 ,  固溶体 ,  アルミナ ,  イオンめっき ,  *クロム化合物 ,  *アルミニウム化合物 ,  *酸化物 ,  *窒化物 ,  機械的性質 ,  立方晶系 ,  六方晶系 ,  押込硬さ ,  微小硬さ ,  摩耗 ,  コランダム ,  蒸着膜 ,  微細構造 ,  結晶構造
準シソーラス用語： 陰極アーク蒸着 ,  酸窒化物

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 陰極アーク蒸着 ,  Cr ,  Al ,  薄膜 ,  構造特性 ,  機械的特性