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J-GLOBAL ID：201202264325035271   整理番号：12A0378919

行列表示によるSTEM像シミュレーション法の開発

Simulation of Scanning transmission electron microscope image by Bloch-wave method

著者 (1件)： 森村隆夫 (長崎大)
資料名： 長崎大学大学院工学研究科研究報告(Web)  (Reports of Graduate School of Engineering, Nagasaki University (Web))
巻： 42  号： 78  ページ： 42-78-16 (WEB ONLY)  発行年： 2012年 
JST資料番号： U0100A  ISSN： 1880-5574  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 走査型透過電子顕微鏡(STEM)像シミュレーションに対してBloch波法に基づく方法がAllenらによって開発され,弾性散乱係数からのHAADF,BSE,EELS,およびEDX STEM画像のシミュレーションが行なわれた。さらに,励起振幅と固有値方程式におけるブロック対角化を導出するための方式の利用によって,計算時間とメモリの低減がなされた。ここでは,析出物,欠陥,および原子変位などの不均質な構造を含む積層結晶に対してAllenらの手法を適用する手法を確立した。この手法は,積層構造の各層に対するAllenらのブロック対角化行列の積を計算することからなる。Si-Sb-Si多層構造に対し適用し,入射電子強度分布およびEDX STEM像を種々の条件に対し計算した。シミュレーションと実験結果の比較から,定量的な3次元構造の解析が可能であることが示された。

シソーラス用語： *透過型走査電子顕微鏡 ,  画像 ,  *構造解析 ,  計算機シミュレーション ,  Bloch関数 ,  格子欠陥 ,  対角化 ,  積層構造 ,  行列 ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： HAADF-STEM ,  ブロック対角化

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 行列 ,  STEM ,  シミュレーション法 ,  開発