文献

J-GLOBAL ID：201202264732857561   整理番号：12A1216987

テンプレートとして陽極酸化アルミニウム膜を用いたPDMS上におけるナノピラーパターンの製作

Fabrication nano-pillars pattern on PDMS using anodic aluminum oxide film as template

著者 (2件)： TING Yung-Chiang (Far East Univ., Tainan, TWN) ,  SHY Shyi-Long (National Nano Device Lab., Hsinchu, TWN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8323  ページ： 83232H.1-83232H.6  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： テンプレートとして陽極酸化アルミニウム膜(AAO)を用いたポリ(ジメチルシロキサン)(PDMS)上へのナノピラーパターンの作製とその特性について報告する。二段階の陽極酸化プロセスによって,AAOを形成した。陽極酸化の第二段階において,AAO膜に秩序化した高密度のナノサイズ小孔が形成されることが分かった。リン酸とCuCl₂の溶液によって,アルミニウムの底面と障壁層を除去した。こおようにして,ナノピラーのアレイパターンを含むフレキシブルなPDMSが形成され,シクロヘキサンと高比率の硬化剤の希薄溶液によって,PDMSの改質を行った。これは高分解能の微小パターンを形成する有効な方法で,UVナノ刻印リソグラフィーのソフトリソグラフィーに応用できる。PDMSを基本とするエラストマーモールドはソフトリソグラフィーにおいて幅広く用いられ,PDMSによるナノ構造の複写プロセスは,モールドの刻印機として非常に魅力的な性質を示す。このプロセスは,大面積で,高精度に秩序化したナノ構造モールドを作製するための安価で,容易な方法を提供する。このようにして作製したモールドはオプトエレクトロニクス素子,半導体素子,生体素子,電界放出型ディスプレイ,データ蓄積素子などに幅広く応用できる。

シソーラス用語： 型枠 ,  板 ,  *酸化アルミニウム ,  *ポリジメチルシロキサン ,  *ナノ構造 ,  *柱 ,  アノード酸化 ,  細孔 ,  リン酸 ,  塩化銅 ,  溶液 ,  アレイ ,  リソグラフィー ,  硬化剤 ,  ゴム ,  鋳型【鋳造】 ,  シクロアルカン
準シソーラス用語： インプリントリソグラフィー ,  エラストマ ,  テンプレート【型板】 ,  *ナノピラー ,  ナノ細孔 ,  陽極酸化 ,  *陽極酸化アルミニウム

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (1件)： シクロヘキサン

タイトルに関連する用語 (5件)： テンプレート ,  陽極酸化 ,  アルミニウム膜 ,  PDMS ,  製作