新規なアルミニウムドープ酸化亜鉛膜の開発とその太陽電池への応用

KURAMOCHI Hideto; AKIIKE Ryo; IIGUSA Hitoshi; TAMANO Kimiaki; UTSUMI Kentaro; SHIBUTAMI Tetsuo; SICHANUGRIST Porponth; KONAGAI Makoto

文献

J-GLOBAL ID：201202265418936267 整理番号：12A1584288

新規なアルミニウムドープ酸化亜鉛膜の開発とその太陽電池への応用

Development of Novel Aluminum-Doped Zinc Oxide Film and Its Application to Solar Cells

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資料名：
巻： 51 号： 10,Issue 2 ページ： 10NB13.1-10NB13.4 発行年： 2012年10月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

DCマグネトロンスパッタリング後に時間を変えて湿式化学エッチングすることにより,高ヘイズ値を有する新規なアルミニウムドープ酸化亜鉛膜(AZO-X及びAZO-HX膜)を開発しており,それらの電気的及び光学的特性,高湿度条件下での耐久性,及び表面形態を検討した。AZO-X及びAZO-HX膜は,近赤外領域における透過率と85°C~85%RH条件下での耐久性との間の良好なバランスを示した。また,これらの新規な膜は,通常のAZO膜より湿式化学エッチング後の高いヘイズ値を有する。AZO-HX膜のクレータの大きさとヘイズ値は,AZO-X膜と比較して,エッチング時間の増加に伴い増加した。AZO-HX膜のヘイズ値はAZO-X膜より高く,その値は550nmで90%,800nmで60%である。さらに,AZO-HX膜を前面電極としてアモルファスシリコン(a-Si)シングル型太陽電池に適用した。AZO-HX膜を用いた太陽電池の短絡電流は,AZO-X膜を用いた太陽電池より高かった。最適化の結果として,10.2%という高効率が得られ,新規なAZO-HX膜はa-Si太陽電池の前面電極材料として有望であることが示された。(翻訳著者抄録)

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酸化物薄膜 , 太陽電池

引用文献 (24件)：

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