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J-GLOBAL ID：201202266074720304   整理番号：12A1636877

レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析を用いるサブナノメータ層の厚さの決定

Thickness Determination of Subnanometer Layers Using Laser Ablation Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry

著者 (4件)： HATTENDORF Bodo (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  PISONERO Jorge (Univ. Oviedo, Mieres, ESP) ,  GUENTHER Detlef (ETH Zurich, Zurich, CHE) ,  BORDEL Nerea (Univ. Oviedo, Mieres, ESP)
資料名： Analytical Chemistry  (Analytical Chemistry)
巻： 84  号： 20  ページ： 8771-8776  発行年： 2012年10月16日 
JST資料番号： A0395A  ISSN： 0003-2700  CODEN： ANCHAM  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノメートル及びサブナノメートル厚さの測定におけるレーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析について調べ,マイクロメートル範囲の無機層構造を深さプロファイリングするための感度の良い技法としてレーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析を適用できることを示した。この方法では厚さ0.5,1,3及び6nmのシリコンウエハ上にネオジムを析出させ,10nmのアルミニウムで被覆した。統合イオン信号は層厚さに対応し,外部キャリブレーションによって正確なデータを得ることができた。参照としてガラス標準参照試料及びアルミニウム層のアブレーションによって得た感度比を用いたところ,調製及び測定の層厚さ間の偏差は10%以下であった。このアプローチによってアブレーションガラス標準参照試料についての測定層厚さと実層厚さの間の線形相関を得ることができたが,偏り及び日内変動はかなり高いものであった。これはガラス標準参照試料をアブレーティングしたときのクレータサイズの不正確な測定に起因するものとみられる。本研究の結果から,レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析が原子レベル,すなわち単一原子層感度で層厚さを迅速かつ正確に測定できる技法になり得ることが考察された。

シソーラス用語： *層厚 ,  *厚み測定 ,  *無機質 ,  *薄膜 ,  *ICP-MS分析 ,  レーザアブレーション ,  深さプロフィル ,  ウエハ【IC】 ,  ネオジム ,  アルミニウム ,  被覆層 ,  ガラス ,  信号特性 ,  依存性 ,  キャリブレーション ,  測定精度
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  ナノメータ ,  *レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析 ,  原子層 ,  厚さ依存性 ,  *厚さ測定 ,  信号強度 ,  深さプロファイリング ,  線形相関 ,  *無機物質

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  質量分析  (CC03013N)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザアブレーション誘導結合プラズマ質量分析 ,  サブ ,  ナノメータ ,  厚さ