ホウ素を混合したグラファイトターゲットを用いるパルスレーザ蒸着による超ナノ結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン複合膜の中のダイヤモンド粒の増強した成長

OHMAGARI Shinya; KATAMUNE Yuki; ICHINOSE Hikaru; YOSHITAKE Tsuyoshi

文献

J-GLOBAL ID：201202266140837730 整理番号：12A0495296

ホウ素を混合したグラファイトターゲットを用いるパルスレーザ蒸着による超ナノ結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン複合膜の中のダイヤモンド粒の増強した成長

Enhanced Growth of Diamond Grains in Ultrananocrystalline Diamond/Hydrogenated Amorphous Carbon Composite Films by Pulsed Laser Deposition with Boron-Blended Graphite Targets

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資料名：
巻： 51 号： 2,Issue 1 ページ： 025503.1-025503.5 発行年： 2012年02月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

超ナノ結晶ダイヤモンド(UNCD)/水素化アモルファスカーボン複合膜を,ホウ素を混合したグラファイトターゲットを用いるパルスレーザ蒸着によって調製し,UNCD粒の成長へのホウ素ドーピングの効果を調べた。ホウ素含有量の増加と共に粒サイズは5から23nmに増加し,バルクダイヤモンドのそれに近づく格子定数が伴った。X線光電子放出スペクトルから見積もったsp³/(sp³+sp²)比は,ホウ素ドーピングによって増大し,それは主に大きくなった粒に帰することができたかもしれない。近吸収端X線吸収微細構造分光測定は,ホウ素原子が粒界に選択的に分布することを明らかにした。結果に基づいて,増大した結晶成長におけるホウ素原子の役割を論じる。我々は核形成の後の結晶成長が,UNCD粒に隣接するホウ素原子,またはプラズマの中のホウ素を含む高エネルギー種によって,促進されると考える。(翻訳著者抄録)

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その他の無機化合物の薄膜

引用文献 (33件)：

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