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J-GLOBAL ID：201202266207751496   整理番号：12A0430785

ハイブリッドアーク増強マグネトロンスパッタリングにより堆積したTi-Al-Si-C-N硬質皮膜のトライボロジー挙動

Tribological behavior of Ti-Al-Si-C-N hard coatings deposited by hybrid arc-enhanced magnetron sputtering

著者 (4件)： WU Guizhi (State Key Lab. for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an 710049, CHN) ,  MA Shengli (State Key Lab. for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an 710049, CHN) ,  XU Kewei (State Key Lab. for Mechanical Behavior of Materials, Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an 710049, CHN) ,  CHU Paul K (Dep. of Physics and Materials Sci., City Univ. of Hong Kong, 83 Tat Chee Avenue, Kowloon, CHN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 30  号： 2  ページ： 021501  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Ti-Al-Si-C-N硬質皮膜を,ハイブリッドアーク増強マグネトロンスパッタリングにより高速度鋼上に堆積し,硬度,付着,及びトライボロジー挙動を研究した。ナノ複合体構造のため,皮膜は,30GPa以上の硬度を示した。引っかき試験中における皮膜の損傷は,座屈及び楔破砕損傷機構によるものであった。Ti-Al-Si-Nと較べて,Ti-Al-Si-C-N皮膜におけるCの存在は,摩擦係数及び摩耗速度の減少をもたらし,非晶質Cにより与えられた効果的な潤滑を示した。走査電子顕微鏡により検査した摩耗追跡に従えば,摩耗機構をプラウイング摩砕により説明できた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *アルミニウム ,  *ケイ素 ,  *炭素 ,  添加 ,  マグネトロンスパッタリング ,  アーク放電 ,  *高速度鋼 ,  硬度 ,  *トライボロジー ,  引かき試験 ,  損傷 ,  座屈 ,  破砕 ,  摩擦係数 ,  摩耗速度 ,  走査電子顕微鏡 ,  摩砕
準シソーラス用語： *窒化チタン ,  *硬質皮膜 ,  付着性 ,  ナノ複合体 ,  楔破砕 ,  プラウイング摩砕

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (9件)： アーク ,  増強 ,  マグネトロンスパッタリング ,  堆積 ,  Ti ,  Al ,  Si ,  硬質皮膜 ,  トライボロジー挙動