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J-GLOBAL ID：201202266384478708   整理番号：12A0785516

太陽電池工業のプロセスエッチング液の分光光度分析 二原子分子および原子の高分解能連続源吸収分光法を用いたHNO₃,HF,およびH₂SiF₆の定量

Spectrometric analysis of process etching solutions of the photovoltaic industry-Determination of HNO₃, HF, and H₂SiF₆ using high-resolution continuum source absorption spectrometry of diatomic molecules and atoms

著者 (2件)： BUECKER Stefan (Hochsch. Lausitz (FH) - Univ. of Applied Sciences, Fac. of Natural Sciences, Dep. of Chemistry, Grossenhainer ...) ,  ACKER Joerg (Hochsch. Lausitz (FH) - Univ. of Applied Sciences, Fac. of Natural Sciences, Dep. of Chemistry, Grossenhainer ...)
資料名： Talanta  (Talanta)
巻： 94  ページ： 335-341  発行年： 2012年05月30日 
JST資料番号： E0324A  ISSN： 0039-9140  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ノコ損傷を取り除き,低反射率の構造化表面を得るために,多結晶シリコンウェハ表面をHF-HNO₃混合液で処理する。太陽電池の工業生産は,何万ものウェハの微細構造レベルが一定でなければならない。そこで,エッチング浴の実際の組成を知ることがプロセス制御に重要な要素で,消費した酸を補充することによりあるエッチング速度を維持することができる。本報では,硝酸(HNO₃),フッ化水素酸(HF),ヘキサフルオロけい酸(H₂SiF₆)を高分解能連続源グラファイト炉吸収分光計を用いて定量するための新しい方法について述べた。(251.611nmの波長,m₀,_Si=130pgにおけるSi原子の吸収による)Siの濃度,(214.803nm,m0,NO3-=20ngにおけるNOの分子吸収による)硝酸塩の濃度,(227.46nm,m0,F=13pgにおけるAlFの分子吸収による)全フッ化物の濃度を,水溶液標準溶液に対して測定した。H₂SiF₆とHNO₃の濃度は測定から直接得ることができた。HF濃度は,全フッ化物含量とH₂SiF₆として結合したフッ化物の量との差から計算することができた。H₂SiF₆とHNO₃を定量することができ,相対不確実性は5%以下で,回収率はそれぞれ97-103%および96-105%であった。HFについては,太陽電池工業で一般的なHF濃度に対して,回収率および不確実性の点で良好な結果が得られた。提示法は,エッチング溶液中の酸と金属不純物の濃度をひとつの分析装置によりルーチンで定量できるという利点があった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *エッチング液 ,  *分光光度定量 ,  *硝酸 ,  *フッ化水素 ,  *フルオロケイ酸 ,  *黒鉛炉原子吸光分析 ,  ウエハ【IC】 ,  洗浄 ,  フッ化アルミニウム ,  *分子吸光分析 ,  一酸化窒素 ,  イオンクロマトグラフィー
準シソーラス用語： シリコンウエハ ,  シリコンウエハ洗浄

分類 (1件)： 無機化合物の物理分析  (CC03024P)

タイトルに関連する用語 (13件)： 太陽電池 ,  工業 ,  プロセス ,  エッチング液 ,  分光光度分析 ,  二原子分子 ,  原子 ,  高分解能 ,  吸収分光法 ,  HNO3 ,  HF ,  H2SiF6 ,  定量