文献

J-GLOBAL ID：201202266635677829   整理番号：12A1257391

高機能ZnO透明導電膜のICP安定合成に向けた亜鉛-酸素混合プラズマの分光観察

Optical emission spectroscopy of zinc-oxygen mixture plasma for ICP stable synthesis of advanced ZnO transparent conductive film

著者 (3件)： 佐藤直幸 (茨城大) ,  吉崎正洋 (茨城大) ,  池畑隆 (茨城大)
資料名： 電気学会プラズマ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： PST-12  号： 68-84  ページ： 19-23  発行年： 2012年08月08日 
JST資料番号： Z0951A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 亜鉛-酸素混合のVHF帯誘導結合プラズマ(ICP)を用いて,広帯域で平均光透過率が高く,かつ低シート抵抗のZnO-TCF(透明導電膜)を合成した。シート抵抗の再現性を高めるためZnオーブンの温度モニタ及びZn-O₂混合プラズマの分光モニタによってZn蒸発量を制御した。ZnとOの発光ピーク強度比とTCFの相関を述べた。

シソーラス用語： *プラズマ合成 ,  *透明導電膜 ,  *酸化亜鉛 ,  混合気体 ,  誘導結合プラズマ ,  透過率 ,  シート抵抗 ,  *プラズマ分光 ,  可視発光スペクトル ,  赤外発光スペクトル
準シソーラス用語： 光透過率 ,  誘導結合放電

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (19件)：

• (1) 馬来国弼他:「透明導電膜の技術」オーム社 (2007).
• (2) Weifeng Liu et al : “Al-doped ZnO thin film deposited by reactive frequency magnetron sputtering:H₂-induced property changes", Thin Solid film, 515 pp.3057-3060 (2007).
• (3) 革新的太陽光発電技術研究開発一中間評価説明資料 2010-9. http://.www.nedo.go.jp/content/100095821.pdf.
• (4) 南内嗣:「透明導電膜の新展開III:ITOとその代替材料開発の現状」,CMC Publishing Co.,Ltd,(2008).
• (5) 佐藤直幸:「首都圏北部4大学発新技術説明会」(2009) http://jstshingi.jp/abst/2009/4u/program.html.

タイトルに関連する用語 (8件)： ZnO ,  透明導電膜 ,  ICP ,  亜鉛 ,  酸素 ,  プラズマ ,  分光 ,  観察