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J-GLOBAL ID：201202266712626671   整理番号：12A1459245

TES(転移端センサ)応用に対するMo/Au二重層の熱安定性

Thermal stability of Mo/Au bilayers for TES applications

著者 (13件)： PARRA-BORDERIAS Maria (Universidad de Zaragoza, Zaragoza, ESP) ,  PARRA-BORDERIAS Maria (CSIC, Madrid, ESP) ,  FERNANDEZ-MARTINEZ Ivan (CSIC, Madrid, ESP) ,  FERNANDEZ-MARTINEZ Ivan (Instituto de Energia Solar, Madrid, ESP) ,  FABREGA Lourdes (CSIC, Bellaterra, ESP) ,  CAMON Agustin (Universidad de Zaragoza, Zaragoza, ESP) ,  GIL Oscar (CSIC, Bellaterra, ESP) ,  GONZALEZ-ARRABAL Raquel (Universidad Politecnica de Madrid, Madrid, ESP) ,  SESE Javier (Universidad de Zaragoza, Zaragoza, ESP) ,  COSTA-KRAEMER Jose Luis (CSIC, Madrid, ESP) ,  WAROT-FONROSE Benedicte (CEMES, Toulouse, FRA) ,  SERIN Virginie (CEMES, Toulouse, FRA) ,  BRIONES Fernando (CSIC, Madrid, ESP)
資料名： Superconductor Science and Technology  (Superconductor Science and Technology)
巻： 25  号： 9  ページ： 095001,1-6  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： T0607A  ISSN： 0953-2048  CODEN： SUSTEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超伝導転移端センサ(TES)を基本とする高性能の放射光検出器は,ミリ波からγ線に亘る幅広い周波数域の放射光を検出する目的で開発されてきた。粒子物理学,生化学および材料科学のような他の分野の中で,TESは天文学の分野においても不可欠の検出器と考えられている。TESは常伝導状態と超伝導状態の間の狭い温度域で動作する超伝導層によって構成されている。本稿では,TESへの応用を目指したMo/Auから成る二重層の熱安定性に関する研究結果を報告する。Mo/Auから成る二重層の機能特性は,試験飛行の条件を満たす温度域(T≦150°C)において安定で,将来における宇宙ミッションのセンサとして有望であることが分かった。Si₃N₄上にスパッタリング法によって堆積させたMo/Auから成る最適化された二重層の超伝導転移温度(T_c),残留抵抗比(RRR),および対数感度指標(α)が,Mo/Auの相互拡散が予想される温度よりも充分に低い200°C以上,あるいは200°C程度のアニーリングによってどのように修正されるかという問題を詳細に研究した。測定したRRRの変化は,Auの平均結晶粒径の増大に関係する残留抵抗値(R_N)の変化に関連することが分かった。一方,観測したT_cの変化を支配する主な理由は,Moの結晶粒界に位置するAu原子の移動であると結論した。αは測定したアニーリング時間および温度に関係なく,測定誤差の範囲で不変であることが分かった。

シソーラス用語： *センサ ,  *微量熱量計 ,  *多層膜 ,  *モリブデン ,  *金 ,  熱安定性 ,  LPCVD ,  電子顕微鏡観察 ,  透過型電子顕微鏡 ,  X線回折 ,  結晶構造 ,  スパッタ蒸着 ,  基板 ,  ケイ素 ,  被覆層 ,  窒化ケイ素 ,  転移温度 ,  残留抵抗 ,  焼なまし ,  温度依存性 ,  結晶粒径 ,  サイズ効果 ,  *超伝導体
準シソーラス用語： 超伝導転移温度 ,  *超伝導転移端センサ ,  *二重層

分類 (2件)： 熱量測定,熱量計  (AD06030G) ,  金属系超伝導体の物性  (BM04022R)

タイトルに関連する用語 (6件)： TES ,  応用 ,  Mo ,  Au ,  重層 ,  熱安定性