(NH<sub>4</sub>)<sub>2</sub>Sを用いたGeゲートスタックのS不動態化

SIONCKE Sonja; FLEISCHMANN Claudia; LIN Dennis; VRANCKEN Evi; CAYMAX Matty; MEURIS Marc; TEMST Kristiaan; VANTOMME Andre; MUELLER Matthias; KOLBE Michael; BECKHOFF Burkhard

文献

J-GLOBAL ID：201202267166937420 整理番号：12A1754289

(NH₄)₂Sを用いたGeゲートスタックのS不動態化

S-passivation of the Ge gate stack using (NH₄)₂S

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Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena (Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena)

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巻： 187 ページ： 23-26 発行年： 2012年
JST資料番号： T0583A ISSN： 1012-0394 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：スイス (CHE) 言語：英語 (EN)

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