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J-GLOBAL ID：201202267688166350   整理番号：12A0833095

専門化した走査トンネル顕微鏡による深いトレンチのミクロ構造の長い範囲の正確な測定

Note: Long range and accurate measurement of deep trench microstructures by a specialized scanning tunneling microscope

著者 (6件)： JU Bing-feng (The State Key Lab. of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang Univ., Hangzhou 310027, CHN) ,  CHEN Yuan-liu (The State Key Lab. of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang Univ., Hangzhou 310027, CHN) ,  ZHANG Wei (The State Key Lab. of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang Univ., Hangzhou 310027, CHN) ,  ZHU Wule (The State Key Lab. of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang Univ., Hangzhou 310027, CHN) ,  JIN Chao (The State Key Lab. of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang Univ., Hangzhou 310027, CHN) ,  FANG F. Z. (The State Key Lab. of Precision Measuring Technol. and Instruments, Centre of MicroNano Manufacturing Technol. ...)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 83  号： 5  ページ： 056106-056106-3  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高いアスペクト比と高い深さ能力を持つ,コンパクトであるが実用的な走査トンネル顕微鏡(STM)を,特別に開発した。傾き調整ステージを持つ長い範囲の走査機構を,非平行効果を補償するためにプローブ-試料相対角を調整する目的で採用する。10μmのピッチを持つ周期的トレンチミクロ構造を,上に2.0mmまでの長い走査範囲で,成功裡に画像化した。より革新的に,23.0μmの深さとステップ高さを持つ深いトレンチもまた成功裡に測定し,側壁の傾斜角は67°をほぼ達成することができる。プローブは,チップの崩壊無しに,高い段とトレンチ底の探査を連続的に登ることができる。新しいSTMは,画像の歪み無しに,深いトレンチと高い段の表面の長い範囲の測定を行うことができた。それは,周期的トレンチミクロ構造の正確な測定と品質管理を可能にする。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： アスペクト比 ,  深さ ,  *走査型トンネル顕微鏡 ,  開発 ,  傾斜 ,  範囲 ,  走査 ,  機構 ,  溝 ,  *微細構造 ,  プローブ ,  試料 ,  角度 ,  画像
準シソーラス用語： ミクロ構造

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 専門化 ,  走査トンネル顕微鏡 ,  トレンチ ,  ミクロ構造