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J-GLOBAL ID：201202267720890236   整理番号：12A1000357

Cr薄膜の接着とナノ構造の原子間力顕微鏡とX線光電子分光法評価

Atomic force microscopy and X-ray photoelectron spectroscopy evaluation of adhesion and nanostructure of thin Cr films

著者 (6件)： LAZAUSKAS A. (Inst. of Materials Sci. of Kaunas Univ. of Technol., Savanoriu 271, LT-3009 Kaunas, LTU) ,  GRIGALIUNAS V. (Inst. of Materials Sci. of Kaunas Univ. of Technol., Savanoriu 271, LT-3009 Kaunas, LTU) ,  GUOBIENE A. (Inst. of Materials Sci. of Kaunas Univ. of Technol., Savanoriu 271, LT-3009 Kaunas, LTU) ,  ANDRULEVICIUS M. (Inst. of Materials Sci. of Kaunas Univ. of Technol., Savanoriu 271, LT-3009 Kaunas, LTU) ,  BALTRUSAITIS J. (Dep. of Chemistry, Univ. of Iowa, Iowa City, IA 52242, USA) ,  BALTRUSAITIS J. (Dep. of Chemical/Biochemical Engineering, Univ. of Iowa, Iowa City, IA 52242, USA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 19  ページ： 6328-6333  発行年： 2012年07月31日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子ビーム(eビーム)物理蒸気堆積と無線周波数(RF)マグネトロン・スパッタ法を使いクロム(Cr)薄膜をフロートガラス上に堆積した。原子間力顕微鏡(AFM)を使って,これらのCr薄膜の表面形態を研究した。e-ビーム堆積したCr薄膜は,単離した表面マウンドから成り,一方RFスパッタした試料で,これらのマウンドは,結合して, より大きいアイランドを形成した。e-ビーム堆積した薄膜で,おそらく,ナノ構造の違いによりAFM力-距離曲線から決定したようにより低い表面粘着特性を観察した。X線光電子分光法データで決定したところ両方の方法を使用して堆積した試料で 類似した量の吸着大気炭素質の汚染物質と水蒸気を見つけ,e-ビーム堆積した試料で付加的なカーバイド種を持っていた。X線回折データから決定したところe-ビームとRFスパッタ堆積したCr薄膜の支配的な結晶学的な面は体心立方格子Cr金属構造(110)だった。弱い(211)反射もRFスパッタした試料で観察したそして,異なるCr薄膜凝縮と成長メカニズムに帰された。これは,2つの異なる方法を使用して堆積した薄膜のナノ構造の違いとなった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *クロム ,  *薄膜 ,  ナノ構造 ,  原子間力顕微鏡 ,  X線光電子分光法 ,  スパッタ蒸着 ,  電子ビーム蒸着 ,  形態 ,  X線回折

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： Cr ,  薄膜 ,  ナノ構造 ,  原子間力顕微鏡 ,  X線光電子分光法 ,  評価