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J-GLOBAL ID：201202267775726133   整理番号：12A1506344

MEMSに基づくPZT/PZTバイモルフ厚膜振動エネルギーハーベスタの製作と特性評価

Fabrication and characterization of MEMS-based PZT/PZT bimorph thick film vibration energy harvesters

著者 (8件)： XU R (Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK) ,  LEI A (Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK) ,  DAHL-PETERSEN C (Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK) ,  HANSEN K (Meggitt Sensing Systems, Kvistgaard, DNK) ,  GUIZZETTI M (Meggitt Sensing Systems, Kvistgaard, DNK) ,  BIRKELUND K (Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK) ,  THOMSEN E V (Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK) ,  HANSEN O (Technical Univ. Denmark (DTU Nanotech), Kongens Lyngby, DNK)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 22  号： 9  ページ： 094007,1-9  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近のヘルスケアでは携帯型の無線モニタリングシステムが注目されている。本稿では,このようなモニタリングシステム用として集積シリコンプルーフマスを持つMEMSに基づくPZT/PZTバイモルフ厚膜振動エネルギーハーベスタの開発を行った。このエネルギーハーベスタでは,PZTだけが歪むため歪エネルギーの損失が無く,有効システム結合係数が増加し,出力が大幅に高くなった。製作プロセスの詳細を示した。このプロセスにより製作歩留りは98%以上となった。さらに,印刷PZT膜の焼結前の高圧処理が可能になった。この結果,PZT厚膜性能が向上し,エネルギーハーベスタの出力は,上部と下部の層に対して1gを与えたとき37.1μWとなった。

シソーラス用語： *MEMS ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  積層構造 ,  振動エネルギー ,  電気機械 ,  エネルギー変換 ,  圧電素子 ,  歪エネルギー ,  健康管理 ,  携帯型 ,  監視装置 ,  無線伝送 ,  加速度計 ,  歩留り
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】 ,  *エネルギーハーベスタ ,  バイモルフ ,  プルーフマス ,  モニタリングシステム ,  ヘルスケア

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (7件)： MEMS ,  PZT ,  バイモルフ ,  厚膜 ,  エネルギーハーベスタ ,  製作 ,  特性評価