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J-GLOBAL ID：201202268048497896   整理番号：12A0189713

CMUTに基づく化学センサに対する2段階コーティング技法

A 2-step coating technique for CMUT based chemical sensors

著者 (4件)： LI Yingchun (Inst. of Micro and Sensor System (IMOS), Otto-von-Guericke-University Magdeburg, Universitaetsplatz 2, 39106 ...) ,  LUCKLUM Ralf (Inst. of Micro and Sensor System (IMOS), Otto-von-Guericke-University Magdeburg, Universitaetsplatz 2, 39106 ...) ,  BROSE Andreas (Inst. of Micro and Sensor System (IMOS), Otto-von-Guericke-University Magdeburg, Universitaetsplatz 2, 39106 ...) ,  FLEISCHER Maximilian (Chemical Sensors, Corporate Res. and Technologies, Siemens AG, Otto-Hahn-Ring 6, 81739 Munich, DEU)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 161  号： 1  ページ： 171-177  発行年： 2012年01月03日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 万能な堆積法を開発した。この方法により,多様な化学的に敏感な物質を使って容量性マイクロマシン超音波トランデューサ(CMUT)を容易に改質でき,トランデューサ効率は大きな影響は受けない。2段階コーティング過程において,ナノ粒子(NP)や種々の有感物質をCMUTアレイ上に蒸着することで,装置は化学センサアレイに変えられる。重要な特徴はCMUTアレイを改質するボトムのナノ粒子層にある。SEMで支持されたインピーダンス解析により,本手法は信頼性と再現性があり,得られた膜は一様で安定していることを示した。化学的に改質したCMUTを有機気体検出器としてテストし,成功した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *化学センサ ,  電気測定 ,  *被覆 ,  ナノ粒子 ,  *超音波変換器 ,  *ガスセンサ ,  過渡応答
準シソーラス用語： インピーダンス解析 ,  コーティング ,  *CMUT

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： CMUT ,  化学センサ ,  段階 ,  コーティング ,  技法