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J-GLOBAL ID：201202268172341535   整理番号：12A1439436

導電性IPNに基づくマイクロビームアクチュエータの戸外におけるパターン形成過程および動作

Patterning process and actuation in open air of micro-beam actuator based on Conducting IPNs

著者 (8件)： KHALDI Alexandre (LPPI, Cergy-Pontoise, FRA) ,  KHALDI Alexandre (IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  PLESSE Cedric (LPPI, Cergy-Pontoise, FRA) ,  SOYER Caroline (IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA) ,  CHEVROT Claude (LPPI, Cergy-Pontoise, FRA) ,  TEYSSIE Dominique (LPPI, Cergy-Pontoise, FRA) ,  VIDAL Frederic (LPPI, Cergy-Pontoise, FRA) ,  CATTAN Eric (IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8340  ページ： 83400J.1-83400J.9  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 空気中で動作するマイクロ電気活性高分子アクチュエータを得るための新規方法について記述した。高速導電性相互貫入重合体網目(IPN)マイクロアクチュエータを合成し,特性解析した。用いた合成法によりアクチュエータの厚みを低減可能なことが判明した。微細加工に適したポリエチレンオキシド(PEO)/ポリテトラヒドロフラン(PTHF)架橋系IPNマトリックス薄膜をプレス加工により調製した。3,4-エチレンジオキシチオフェン(EDOT)で膨潤した後に化学酸化重合することによりPEO/PTHF/PEDOT系導電性IPNを得た。これらの電気活性材料を反応性イオンエッチングによりドライエッチングした。周波数応答と変位を走査電子顕微鏡観察により特性解析した。これらの導電性IPNマイクロアクチュエータはマイクロバルブ,マイクロ光学計測機器やマイクロロボットを含む多数の低周波用途に向けて有望であると考察した。

シソーラス用語： *導電性高分子 ,  *IPN重合体 ,  *マイクロアクチュエータ ,  パターン形成 ,  ポリエチレンジオキシチオフェン ,  RIE【エッチング】 ,  ポリエチレンオキシド ,  ポリテトラメチレンオキシド ,  架橋【高分子】 ,  フォトリソグラフィー ,  イオン伝導 ,  応力歪特性

分類 (2件)： 物理的性質一般  (YH02021U) ,  高分子固体の物理的性質  (CG02024U)

タイトルに関連する用語 (4件)： 導電性 ,  IPN ,  戸外 ,  形成過程