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J-GLOBAL ID：201202269160720650   整理番号：12A0636877

ナノ結晶ダイヤモンド膜成長を目的とした線状アンテナ・マイクロ波CVD装置のパルスプラズマ研究

Pulsed plasmas study of linear antennas microwave CVD system for nanocrystalline diamond film growth

著者 (5件)： VLCEK Jan (Inst. Chemical Technol. Prague, Prague, CZE) ,  FENDRYCH Frantisek (Inst. Physics, Acad. Sci. Czech Republic, Prague, CZE) ,  TAYLOR Andrew (Inst. Physics, Acad. Sci. Czech Republic, Prague, CZE) ,  NOVOTNY Michal (Inst. Physics, Acad. Sci. Czech Republic, Prague, CZE) ,  LIEHR Michael (Technical Consulting, Buedingen, DEU)
資料名： Journal of Materials Research  (Journal of Materials Research)
巻： 27  号： 5  ページ： 863-867  発行年： 2012年03月14日 
JST資料番号： D0987B  ISSN： 0884-2914  CODEN： JMREEE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ結晶ダイヤモンド膜の応用には,低温で,大面積の膜の形成が重要である。その条件を満足する手法として,線状アンテナ・マイクロ波CVD法が報告されている。本研究では,マイクロ波をパルス化して更なる改良を試みた。CVD用プラズマガスとしてH₂+CH₄+CO₂混合ガスを用いた。光学発光スペクトルの測定により,圧力(0.38~2mbar),マイクロ波パルス周波数(3.8~25kHz),および全ガス流速の影響を調べた。また,原子状水素の発光強度からプラズマ温度を評価した。得られた膜の形態評価にはSEM,非ダイヤモンド炭素の濃度をラマン分光により評価した。その結果,高いパルス周波数プラズマを用いた時,sp²結合が5%以下の均一な結晶性ナノダイヤモンド膜が得られた。

シソーラス用語： *ナノ結晶 ,  ダイヤモンド ,  水素 ,  二酸化炭素 ,  発光スペクトル ,  プラズマ温度 ,  発光分析 ,  *プラズマCVD ,  線状アンテナ ,  薄膜成長 ,  蒸着膜 ,  微細構造 ,  プロセスパラメータ ,  プラズマ診断 ,  蒸着装置 ,  アルカン
準シソーラス用語： *ダイヤモンド膜 ,  *マイクロ波プラズマCVD ,  原子状水素

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (7件)： ナノ結晶ダイヤモンド膜 ,  成長 ,  線状アンテナ ,  マイクロ波 ,  CVD装置 ,  パルスプラズマ ,  研究