文献

J-GLOBAL ID：201202270456564849   整理番号：12A0746421

スパッタされた原子の源の深さ: 低エネルギー領域との相関を識別するための関連するターゲット特性への依存性の探査

Depth of origin of sputtered atoms: Exploring the dependence on relevant target properties to identify the correlation with low-energy ranges

著者 (2件)： WITTMAACK Klaus (Helmholtz Zentrum Muenchen, Inst. fuer Strahlenschutz, D-85758 Neuherberg, DEU) ,  MUTZKE Andreas (Max-Planck-Institut fuer Plasmaphysik, EURATOM Assoc., Teilinstitut Greifswald, D-17491 Greifswald, DEU)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 281  ページ： 37-44  発行年： 2012年06月15日 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *スパッタリング ,  *原子 ,  深さ ,  発生 ,  ターゲット ,  相関 ,  シミュレーション ,  収率 ,  キセノン ,  エネルギー領域

分類 (1件)： スパッタリング  (BK16110U)

タイトルに関連する用語 (8件)： スパッタ ,  原子 ,  低エネルギー領域 ,  相関 ,  識別 ,  ターゲット ,  依存性 ,  探査