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J-GLOBAL ID：201202270894246361   整理番号：12A0655567

実時間時計用の静電的に調節可能なピエゾ電気オンシリコンのミクロ機械共振器

Electrostatically Tunable Piezoelectric-on-Silicon Micromechanical Resonator for Real-Time Clock

著者 (3件)： SERRANO Diego E. (Georgia Inst. Technol., GA) ,  TABRIZIAN Roozbeh (Georgia Inst. Technol., GA) ,  AYAZI Farrokh (Georgia Inst. Technol., GA)
資料名： IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 59  号： 3  ページ： 358-365  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： H0369A  ISSN： 0885-3010  CODEN： ITUCER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 32.786kHzの実時間時計用に,現行の水晶共振器よりも形状因子が1桁以上小さい,静電的に調節可能なピエゾ電気・ミクロ電気機械システム(MEMS)を実証した。このデバイスを,AlNオン・シリコン・オン・インシュレータ(SOI)基板上に実装することにより,ピエゾ電気的励振と静電的調節を可能とした。このデバイスは,面外屈曲モードで動作し,低い周波数での動作と小さなダイ面積を達成した。有限要素法(FEM)モデリングにより,この構造の性能とダイ面積を最適化した。ダイ面積は,350x350μm,周波数調節範囲はDC電圧4Vを使って3100ppmであり,これにより,-20°Cから100°Cにおける周波数変化を十分補償できた。

シソーラス用語： *共振器 ,  *圧電気 ,  静電気 ,  ケイ素 ,  *SOI構造 ,  モード ,  有限要素法
準シソーラス用語： *MEMS共振器 ,  シリコン ,  *ピエゾ電気 ,  屈曲モード

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 実時間 ,  時計 ,  調節 ,  ピエゾ電気 ,  機械共振器