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J-GLOBAL ID：201202271093796102   整理番号：12A0600981

薄膜抵抗型水素センサの開発

著者 (5件)： 奥井貴博 (岡山大) ,  片山文哉 (岡山大) ,  堺健司 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan)
巻： 2012  号： 3  ページ： 207  発行年： 2012年03月05日 
JST資料番号： S0653A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： フォトリソグラフィー ,  *ガスセンサ ,  *薄膜 ,  白金 ,  抵抗 ,  電圧変動 ,  製膜 ,  評価試験 ,  ブリッジ回路 ,  圧力 ,  計測システム ,  *水素センサ
準シソーラス用語： 電圧変化 ,  膜圧

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  計測機器一般  (AD02000X)

タイトルに関連する用語 (3件)： 膜抵抗 ,  水素センサ ,  開発