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J-GLOBAL ID：201202272262757690   整理番号：12A1763509

シングルパス走査のKelvinプローブ力顕微鏡の実際上の側面

Practical aspects of single-pass scan Kelvin probe force microscopy

著者 (4件)： LI Guangyong (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Pittsburgh, Pittsburgh, Pennsylvania 15261, USA) ,  MAO Bin (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Pittsburgh, Pittsburgh, Pennsylvania 15261, USA) ,  LAN Fei (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Pittsburgh, Pittsburgh, Pennsylvania 15261, USA) ,  LIU Liming (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Pittsburgh, Pittsburgh, Pennsylvania 15261, USA)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 83  号： 11  ページ： 113701-113701-8  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 周囲条件でのシングルパス走査Kelvinプローブ力顕微鏡(KPFM)はデュアルパスリフトアップ走査KPFMよりもいくつか利点がある。例えば,空間分解能は高いと予測され,トポグラフィー測定とKPFM測定が同時に行われている間,静電力がアクティブに抑制されるため,静電力によって生じるトポグラフィー誤差は極小化される。周囲条件中のシングルパス走査KPFMは比較的新しいため,これまでこれは文献で注意をあまり引いていなかった。本論文では,特に周囲条件におけるシングルパス走査KPFMのいくつか主要な実際的な側面を論じた。先ず,点広がり関数を使って分解能を定義した。この定義によって,分解能と,チップ頂点半径やチップ-表面距離などの走査パラメータとの関係を分析した。さらに,この点広がり関数を基にKPFMの精度を調べた。次に,様々な作動モード下でのKPFMの感度を分析した。最後に,トポグラフィーイメージと表面電位イメージとの間のクロスオーバーを調べ,クロストークを極小化する実際的な手法を実証した。これら議論は,シングルパス走査KPFMを理解するのに役に立つばかりでなく,シングルパス走査KPFMを使う場合の実際上の指針も得られる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 力顕微鏡 ,  点像分布関数 ,  *空間分解能 ,  力 ,  測定精度 ,  感度 ,  表面電位 ,  クロストーク ,  *走査型プローブ顕微鏡
準シソーラス用語： *Kelvinプローブ力顕微鏡 ,  点ひろがり関数 ,  静電力

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： パス ,  走査 ,  Kelvinプローブ力顕微鏡