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J-GLOBAL ID：201202272466227550   整理番号：12A1421440

回転ドラム式メッキ装置によるダイヤモンドワイヤ工具の高速作製法の開発に関する研究

著者 (3件)： 諏訪部仁 (金沢工大) ,  秋充 (金沢工大 大学院) ,  石川憲一 (金沢工大)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 56  号： 10  ページ： 703-708  発行年： 2012年10月01日 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 結晶系シリコン太陽電池の基板であるシリコンのウエハスライシングには,電着ダイヤモンドワイヤ工具(以下,ワイヤ工具と呼ぶ)が使用されているが,本ワイヤ工具の低コスト化には高速作製することが必要不可欠である。本研究では,ピアノ線にダイヤモンド砥粒を高速で電着させるために,ピアノ線とダイヤモンド砥粒の移動速度差を抑えながら電着が可能なドラム式メッキ装置を考案した。そして,試作したメッキ装置を用いたワイヤ工具高速作製法の有用性に関して,実験的に検討するためにΦ120μmのピアノ線を用いてワイヤ工具を試作し,電着性や試作したワイヤ工具切断性能を評価した。そして,ワイヤ工具の最適作製条件を検討した。(著者抄録)

シソーラス用語： *バレルめっき ,  *めっき設備 ,  ダイヤモンド ,  ダイヤモンド工具 ,  ピアノ線 ,  砥粒 ,  細線 ,  電着 ,  *ウエハ【IC】 ,  ケイ素 ,  切削 ,  均一電着性 ,  切削性
準シソーラス用語： *シリコンウエハ ,  スライシング ,  *ダイヤモンドワイヤ工具 ,  ダイヤモンド砥粒 ,  *電着ダイヤモンドワイヤ ,  *砥粒ダイヤモンドワイヤ ,  ウエハダイシング

分類 (3件)： 切削一般  (QC02010V) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (3件)：

• 砥粒加工学会編. 砥粒加工技術のすべて. 2006, 127
• SUWABE, H. Development and cutting characteristics of a thin diamond wire tool. Journal of the Japan Society for Abrasive Technology. 2007, 51, 6, 351
• SUWABE, H. Development of a high-speed manufacturing diamond wire tool by flow plating and slicing characteristics. Journal of the Japan Society for Abrasive Technology. 2010, 54, 5, 298

タイトルに関連する用語 (7件)： 回転ドラム ,  メッキ装置 ,  ダイヤモンドワイヤ ,  工具 ,  作製法 ,  開発 ,  研究