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J-GLOBAL ID：201202274291044336   整理番号：12A0944367

流動層反応器でのトリクロロシランから粒状ポリシリコンの製造

Manufacture of Granular Polysilicon from Trichlorosilane in a Fluidized-Bed Reactor

著者 (3件)： WANG Chenjing (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  WANG Tiefeng (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  WANG Zhanwen (Tsinghua Univ., Beijing, CHN)
資料名： Chemical Engineering & Technology  (Chemical Engineering & Technology)
巻： 35  号： 5  ページ： 893-898  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： A0907C  ISSN： 0930-7516  CODEN： CETEER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 流動層反応器で,SiHClO₃から化学蒸着法でポリシリコンの製造を研究した。各種の反応条件を検討し,温度,H₂/SiHClO₃比が転化率および選択率に大きな影響を与える事が判った。得られた表面反応速度式は低温度だけで製品収率を決定出来た。900°C以上で熱力学的平衡に近づいた。

シソーラス用語： *流動層反応器 ,  *粒状材 ,  *ポリシリコン ,  製造 ,  *塩素酸塩 ,  *ケイ素化合物 ,  *水素化合物 ,  *化学蒸着 ,  条件 ,  化学反応 ,  反応温度 ,  水素 ,  転化率 ,  選択性 ,  表面反応 ,  収率 ,  平衡
準シソーラス用語： 熱力学的平衡 ,  反応条件

分類 (1件)： 反応操作(単位反応)  (XE01040I)

物質索引 (1件)： トリクロロシラン

タイトルに関連する用語 (3件)： 流動層反応器 ,  トリクロロシラン ,  ポリシリコン