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J-GLOBAL ID：201202275676219583   整理番号：12A0821485

高密度プラズマ技術開発とデバイス応用

著者 (7件)： 安東靖典 (日新電機) ,  入澤一彦 (日新電機) ,  高橋英治 (日新電機) ,  米田均 (日新電機) ,  藤原将喜 (日新電機) ,  宿久明日香 (日新電機) ,  LI Dongwei (日新電機)
資料名： 日新電機技報  (Nissin Electric Review)
巻： 57  号： 1  ページ： 31-36  発行年： 2012年04月13日 
JST資料番号： S0817B  ISSN： 0549-5377  CODEN： NIDGA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 平板状アンテナを用いた誘導結合プラズマ生成用アンテナの開発を進めてきた。複数のアンテナを用いた場合のアンテナ短辺方向のプラズマ密度均一性で,5%以下の良好な結果を得た。また,高密度プラズマ技術を用いた応用成膜として,太陽電池用保護膜と酸化物半導体用保護膜の検証に取り組み,共に良好な結果を得た。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ ,  *プラズマ生成 ,  *アンテナ ,  プラズマ密度 ,  *薄膜成長 ,  *太陽電池 ,  *化合物半導体 ,  *保護膜
準シソーラス用語： *高密度プラズマ

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  固体デバイス一般  (NC03010Z)

引用文献 (8件)：

• 1) 菅井秀郎、J. Plasma Fusion Res. Vol.86,No.1(2010)28-32
• 2) Michael A.Lieberman and Allan J.Lichetenberg、プラズマ/プロセスの原理(Principles of PlasmaDischarges and Materials Processing)EDリサーチ社 など
• 3) SEMI PV通信2011年6月号
• 4) 川本訓裕、他、Sanyo Technical Review vol.34 No.1Jun.2002
• 5) 永尾友一、他、薄膜材料デバイス研究会 第8回研究集会アブストラクト5P12(2011)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高密度プラズマ ,  開発 ,  応用