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J-GLOBAL ID：201202276435241983   整理番号：12A0395911

共スパッタリング析出で,チタン-アルミニウム-ポリテトラフルオロエチレンを被覆したステンレス鋼の微小型:高温型押し加工における転写性能と限界

Titanium-aluminum-polytetrafluoroethylene coated stainless steel micromold via co-sputtering deposition: Replication performance and limitation in hot-embossing

著者 (6件)： SAHA Biswajit (Singapore-MIT Alliance, Nanyang Technological Univ., 65 Nanyang Avenue, Singapore 637460, SGP) ,  TOR Shu B. (Singapore-MIT Alliance, Nanyang Technological Univ., 65 Nanyang Avenue, Singapore 637460, SGP) ,  TOR Shu B. (School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological Univ., 50 Nanyang Avenue, Singapore 639798, SGP) ,  LIU Erjia (School of Mechanical and Aerospace Engineering, Nanyang Technological Univ., 50 Nanyang Avenue, Singapore 639798, SGP) ,  HARDT David E. (Dep. of Mechanical Engineering, Singapore-MIT Alliance, Massachusetts Inst. of Technol., 77 Massachusetts Avenue ...) ,  CHUN Jung H. (Dep. of Mechanical Engineering, Singapore-MIT Alliance, Massachusetts Inst. of Technol., 77 Massachusetts Avenue ...)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 163  号： 1  ページ： 290-298  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Si製の型は脆くて短寿命であるため,ステンレス鋼製の微小型が,ポリマーのマイクロ流体素子の製作でのシリコン(Si)の微小型の代替手段となる。ステンレス鋼製の微小型は付着と摩擦が大きいので,ポリマー製品のミクロ構造の歪みを引き起こす場合がある。この研究では,チタン(Ti),アルミニウム(Al),およびポリテトラフルオロエチレン(PTFE)を,ステンレス鋼微小型の表面に共スパッタで析出して,表面特性を改良した。PTFEのターゲットに加えるスパッタリング出力を変えて,Ti-Al-PTFE皮膜のPTFE濃度を制御した。PTFE濃度は,皮膜の,結合構造,表面粗さ,摩擦,および接触角に影響した。これらを,マイクロラマン分光法,X線光電子分光学(XPS),共焦点顕微鏡,ボール-オン-ディスク摩擦計およびゴニオメータでキャラクタリゼーションした。Ti-Al-PTFE皮膜は,炭化物,PTFE様材料,および無定形炭素の混合物であることが観察された。PTFE濃度の増加に従って,被覆した微小型の表面粗さは減少した。50Wの,PTFEターゲットへの出力で析出したTi-Al-PTFE皮膜が,それぞれ,約0.17と13.1×10^-3N/mの最も低い摩擦係数と表面エネルギーを示した。被覆されたステンレス鋼製の微小型では,高温型押し加工で作製したポリマーのマイクロ流体素子の品質が,無被覆のステンレス鋼製微小型と比較して,転写性能の点で優れていた。この研究では,微小型のチャンネルの側壁の被覆特性と高温型押し加工用のTi-Al-PTFE皮膜の限界も調査した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *エンボス加工 ,  熱間加工 ,  *ポリメタクリル酸メチル ,  *成形性 ,  転写 ,  流体素子 ,  *ステンレス鋼 ,  *金型 ,  *チタン ,  *スパッタ蒸着 ,  *アルミニウム ,  *ポリテトラフルオロエチレン ,  同時蒸着 ,  蒸着膜 ,  *チャネル ,  摩擦係数 ,  濃度勾配 ,  表面粗さ ,  気相めっき ,  寿命 ,  *マイクロチャネル ,  マイクロ流体デバイス
準シソーラス用語： *マイクロ金型 ,  マイクロ流体素子 ,  金型寿命 ,  *転写性

分類 (3件)： 気相めっき  (WC08022K) ,  プラスチック被覆  (WC08060U) ,  その他の成形  (YH04090Q)

タイトルに関連する用語 (9件)： 共スパッタリング ,  析出 ,  チタン ,  アルミニウム ,  ポリテトラフルオロエチレン ,  ステンレス鋼 ,  型押し加工 ,  転写性能 ,  限界