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J-GLOBAL ID：201202278618333111   整理番号：12A1012341

原子ステップを使用したナノ溝縞のあるNiO表面の形成

Formation of a nanogroove-striped NiO surface using atomic steps

著者 (8件)： AKIBA S. (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama) ,  MATSUDA A. (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama) ,  ISA H. (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama) ,  KASAHARA M. (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama) ,  SATO S. (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama) ,  WATANABE T. (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama) ,  HARA W. (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama) ,  YOSHIMOTO M. (Tokyo Inst. of Technol., Yokohama)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 17  号： 16  ページ： 4053-6  発行年： 2006年 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノ溝縞パターンをNiO膜表面上に形成した。周期的ナノパターンを,低温で原子ステップサファイア基板上に成長した,エピタキシァルNiO薄膜の高温アニーリングにより全表面にわたって得ることに成功した。直線ナノ溝の深さ,幅および間隔は,それぞれ約3nm,35nm,約100nmであった。縞の周期性は基板の原子ステップのそれと良く一致する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *酸化ニッケル ,  *表面ステップ ,  基板 ,  *パターン形成 ,  ナノ構造
準シソーラス用語： ナノグルーブ ,  サファイア基板 ,  *ナノパターニング

分類 (1件)： 半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (2件)： 原子 ,  縞